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      真空泵機組使用要點

      日期:2018-7-24 11:36:21 人氣:

      真空泵機組使用要點

       1.真空泵用于抽潔凈氣體,不能抽有毒、易燃、易爆、腐蝕性氣體或者蒸汽、化學品、溶劑及粉末等。如易燃氣體、含國家特殊化學品規定成分的特殊或高濃度強酸強堿性氣體、或半導體工藝中高濃度氣體、有機溶劑、結晶氣體等。這些氣體容易使軸承失效。
      2.進氣溫度必須低于50℃,否則在被抽真空室與泵進氣口之間必須加冷阱,降溫至低于50℃。
      3.抽含有水蒸汽的氣體時,要打開氣鎮閥抽氣,被抽氣體水蒸汽含量要求在23克/日以下。如果超過此極限,將會縮短氣鎮閥壽命。
      4.真空泵不能在腐蝕性、易燃、易爆氣體或蒸汽環境中工作,否則會有爆炸、火災等危險。
      5.不要由一兩個人移動此泵。此由專業人員搬運、安裝、配置、配線、操作、維護和檢查,否則會有觸電、受傷或者泵甚至被抽真空室損壞的危險。
      6.不要繼續使用已經損壞的泵,否則會有受傷、觸電甚至被抽系統損壞等危險。
      7.檢查確定此泵安全接地。
      8.此泵工作過程中或剛停機時不要接觸泵電機或金屬部件(因為工作時很熱,最高可能達到70℃)。如確實需要接觸,采取必要防護措施防止受傷。
      9.必須安裝電機保護開關。
      10.不要刮碰進氣口與排氣口法蘭,以免損壞法蘭口,導致真空度上不去。
      11.在進氣口處裝截止閥。真空泵停止后進氣口處真空度降低,是因為排氣口處的大氣返至進氣口處,不是真空泵的原因。如要保證真空室內的真空度,要在真空室與泵之間安裝截止閥。
      12.排氣口處要接排氣管,以防灰塵進入泵內。

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